Kính hiển vi điện tử quét
Kính hiển vi điện tử quét
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm điện tử (chùm các electron) hẹp quét trên bề mặt mẫu. Việc tạo ảnh của mẫu vật được thực hiện thông qua việc ghi nhận và phân tích các bức xạ phát ra từ tương tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu vật. Việc phát các chùm điện tử trong SEM cũng giống như việc tạo ra chùm điện tử trong kính hiển vi điện tử truyền qua, tức là điện tử được phát ra từ súng phóng điện tử (có thể là phát xạ nhiệt, hay phát xạ trường...), sau đó được tăng tốc. Thế tăng tốc của SEM thường từ 10 kV đến 50 kV. Điện tử được phát ra, tăng tốc và hội tụ thành một chùm điện tử hẹp (cỡ vài trăm Angstrong đến vài nanomet) nhờ hệ thống thấu kính từ, sau đó quét trên bề mặt mẫu nhờ các cuộn quét tĩnh điện. Ngoài ra, độ phân giải của SEM còn phụ thuộc vào tương tác giữa vật liệu tại bề mặt mẫu vật và điện tử. Khi điện tử tương tác với bề mặt mẫu vật, sẽ có các bức xạ phát ra, sự tạo ảnh trong SEM và các phép phân tích được thực hiện thông qua việc phân tích các bức xạ này. Các bức xạ chủ yếu gồm:
- Điện tử thứ cấp (Secondary electrons): Đây là chế độ ghi ảnh thông dụng nhất của kính hiển vi điện tử quét, chùm điện tử thứ cấp có năng lượng thấp (thường nhỏ hơn 50 eV) được ghi nhận bằng ống nhân quang nhấp nháy. Vì chúng có năng lượng thấp nên chủ yếu là các điện tử phát ra từ bề mặt mẫu với độ sâu chỉ vài nanomet, do vậy chúng tạo ra ảnh hai chiều của bề mặt mẫu.
- Điện tử tán xạ ngược (Backscattered electrons): Điện tử tán xạ ngược là chùm điện tử ban đầu khi tương tác với bề mặt mẫu bị bật ngược trở lại, do đó chúng thường có năng lượng cao. Sự tán xạ này phụ thuộc rất nhiều vào vào thành phần hóa học ở bề mặt mẫu, do đó ảnh điện tử tán xạ ngược rất hữu ích cho phân tích về độ tương phản thành phần hóa học. Ngoài ra, điện tử tán xạ ngược có thể dùng để ghi nhận ảnh nhiễu xạ điện tử tán xạ ngược, giúp cho việc phân tích cấu trúc tinh thể (chế độ phân cực điện tử). Ngoài ra, điện tử tán xạ ngược phụ thuộc vào các liên kết điện tại bề mặt mẫu nên có thể đem lại thông tin về các đômen sắt điện
Mặc dù không thể có độ phân giải tốt như kính hiển vi điện tử truyền qua nhưng kính hiển vi điện tử quét lại có điểm mạnh là phân tích mà không cần phá hủy mẫu vật và có thể hoạt động ở chân không thấp. Một điểm mạnh khác của SEM là các thao tác điều khiển đơn giản hơn rất nhiều so với TEM khiến cho nó rất dễ sử dụng. Một điều khác là giá thành của SEM thấp hơn rất nhiều so với TEM, vì thế SEM phổ biến hơn rất nhiều so với TEM.
Sử dụng đơn giản và nhanh chóng
• Ai cũng có thể sử dụng được nhờ kính có chức năng tự động điều chỉnh
• Thời gian thu thập ảnh chỉ trong khoảng 2 phút 40 giây
• Giao diện bằng hình ảnh thuận tiện cho sử dụng
• Hiển thị hình ảnh rõ nét, độ phân dải cao và độ sâu tiêu cự rộng
- Khoa học đời sống
- Nghiên cứu thực phẩm
- Nghiên cứu mỹ phẩm
- Nghiên cứu phát triển các sản phẩm chăm sóc sức khỏe
- Nghiên cứu dược phẩm
- Nghiên cứu trong ngành dệt may
- Nghiên cứu khoa học vật liệu
- Nghiên cứu lĩnh vực điện tử, bán dẫn
- Giáo dục và đào tạo
 | SNE-4500M Kính hiển vi điện tử quét kiểu để bàn nhưng tập tung vào hai yếu tố quan trọng: tính năng mạnh và giao diện thân thiện. Hệ thống có độ phóng đại Max. 100,000x với điện áp gia tốc điều chỉnh từ 5kV đến 30kV, tự động lấy nét, tự động điều chỉnh độ sáng và tương phản cho hình ảnh chất lượng cao |  | SNE-3200M Kính hiển vi điện tử quét kiểu để bàn nhưng tập tung vào hai yếu tố quan trọng: tính năng mạnh và giao diện thân thiện. Hệ thống có độ phóng đại Max. 60,000x với điện áp gia tốc điều chỉnh từ 5kV đến 30kV, tự động lấy nét, tự động điều chỉnh độ sáng và tương phản cho hình ảnh chất lượng cao |
 | SNE-3000MB Kính hiển vi điện tử quét kiểu để bàn nhưng tập tung vào hai yếu tố quan trọng: tính năng mạnh và giao diện thân thiện. Hệ thống có độ phóng đại Max. 30,000x với điện áp gia tốc điều chỉnh từ 5kV đến 30kV, tự động lấy nét, tự động điều chỉnh độ sáng và tương phản cho hình ảnh chất lượng cao. |  | Hệ thống EDS Phân tích thành phần nguyên tố bằng hệ tán xạ năng lượng huỳnh quang tia X sử dụng với các kính hiển vi điện tử quét dòng SNE. EDS ch phép phân tích nhanh chóng, chính xác các thành phần của mẫu cũng như lập bản đồ phân bố các thành phần nguyên tố trên bề mặt mẫu SEM. |
